最大行程:2550mm, 最高速度:1600mm/s
重复定位精度:±0.04mm, 水平最大负载:10kg
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最大行程:1050mm, 最高速度:1600mm/s
重复定位精度:±0.01mm, 水平最大负载:50kg
重复定位精度:±0.01mm, 水平最大负载:30kg